Umhordesysteme
Seit 1992 liefern wir vertikal
und horizontal Wafer-Umhordesysteme
für alle bekannten Anwendungen in der Halbleiterproduktion.
Das sind Tischsysteme und Beladevorrichtungen für Prozessanlagen,
teilweise mit der Logistik für Wafer und Horden. Die Umhordesysteme
sind für Wafer mit 3" Durchmesser bis zu 300mm Durchmesser
verfügbar.
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