COMET
Vertikal Wafer-Umhordesysteme in Versionen
mit einer Station und
bis zu drei Stationen für den automatischen
Betrieb zur Ausführung der vielfältigen Umhordefunktionen
in einer Halbleiterproduktion. Für die vollautomatische
Beladung von Prozessanlagen werden auch Umhordesysteme angeboten,
die alle Horden für die gesamte Charge aufnehmen.
Wesentliche Ausstattungsmerkmale
- Reinraum
Klasse 1 erprobt
- Pusher und Retainer aus PEEK
- DC-Motorantrieb mit elektronischer Drehmomentbegrenzung
- Programmierbare Parameter für alle Bewegungen
und Abläufe
und Funktionsvarianten
- Vollständige Sensorik für
fehlerfreien Betrieb
- Integrierte Flat- und Notch-Aligner
- ESD-Ausstattung
Ausführungsvarianten der
COMET Wafer-Umhordesysteme
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