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COMET
Monostation
System mit einer Station zum Umhorden von
25 oder 50 Wafern aus Transport-Horden in Prozesshorden aus
u.a. Kunststoff, Quarz oder SiC. Bei diesem System wechselt
der Operator nach jedem Arbeitsgang die Horde.
Die COMET Monostation Systeme sind in Ausführungen für
die Umhordung 25-25, 25-13/12, 2x 25-50, auch Back-to-Back,
proximity oder im selben Schlitz, und mit Feststoffquellen
in der Prozesshorde verfügbar. Das System erkennt durch
die eingebaute Sensorik die Horden und Wafer und führt
den Arbeitsgang automatisch aus.
Sollten wir Ihre Anwendung nicht aufgeführt haben, stehen
wir Ihnen zur Lieferung einer speziellen Lösung gern zur
Verfügung.
Mehr Informationen
anfordern.
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