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COMET
Inline-Systeme
Inline-Systeme werden für das Umhorden
von Wafern, meist in Verbindung mit Prozessanlagen geliefert.
Für das Umhorden auf Langboote in halbautomatischer Ausführung
enthält das System zwei Stationen. Für andere Anwendungen
werden diese System mit bis zu 12 Stationen für Transporthorden
und einer Station für die Prozesshorde geliefert. Die
COMET Inline-System werden mit umfangreichen Funktionsmöglichkeiten
für die automatische Beladung aus Transport-Horden, einschließlich
der Sortierfunktion für Test- oder Dummy-Wafer versehen.
Für Prozessanlagen, bei denen die gleichmäßige
Beladung der Anlage erforderlich ist, wird das COMET Inline-System
mit einer Sortierfunktion ausgestattet, mit dessen Hilfe fehlende
Wafer in einer Transporthorde automatisch ergänzt und
nach dem Prozess wieder entfernt werden.
Sollten wir Ihre Anwendung nicht aufgeführt haben, stehen
wir Ihnen zur Lieferung einer speziellen Lösung gern zur
Verfügung.
Mehr Informationen
anfordern.
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