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COMET
Dual-Station
System mit zwei Stationen zum teilweise automatischen
Umhorden von 25 oder 50 Wafern aus Transport-Horden in Prozesshorden
aus u.a. Kunststoff, Quarz oder SiC. Der Umhordevorgang 25-25
Wafer erfolgt automatisch mit dem Aufstellen der Transport-Horde
und der Prozess-Horde auf das COMET Wafer-Umhordesystem. Bei
Umhordevorgängen von 25-13/12 oder 2x 25-50 wechselt der
Operator nach einigen Arbeitsgängen die Horde.
Die COMET Dual-Station Systeme sind in Ausführungen für
die Umhordung 25-25, 25-13/12, 2x 25-50, auch Back-to-Back,
proximity oder im selben Schlitz, und mit Feststoffquellen in
der Prozesshorde verfügbar. Das System erkennt durch die
eingebaute Sensorik die Horden und Wafer und führt den
Arbeitsgang automatisch aus.
Sollten wir Ihre Anwendung nicht aufgeführt haben, stehen
wir Ihnen zur Lieferung einer speziellen Lösung gern zur
Verfügung.
Mehr Informationen anfordern.
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