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COMET
3-Stationen
Systeme mit drei Stationen zum automatischen
Umhorden von 25 oder 50 Wafern aus Transport-Horden in Prozesshorden
aus u.a. Kunststoff, Quarz oder SiC. Bei den COMET Wafer-Umhordesystemen
mit drei Stationen stellt der Operator alle Horden für
den Umhordevorgang auf das System. Das System erkennt durch
die eingebaute Sensorik die Horden und Wafer und führt
alle Arbeitsgänge automatisch aus.
Die COMET Wafer-Umhordesysteme mit drei Stationen sind in Ausführungen
für die Umhordung 25-25, 25-13/12, 2x 25-50, auch Back-to-Back,
proximity oder im selben Schlitz, und mit Feststoffquellen in
der Prozesshorde verfügbar. Außerdem gibt es für
diese Systeme die Funktion, den Abstand der Wafer zueinander
zu verändern, was für einige Diffusions- und Beschichtungsprozesse
zu vorteilhaften Produktionsergebnissen führt.
Sollten wir Ihre Anwendung nicht aufgeführt haben, stehen
wir Ihnen zur Lieferung einer speziellen Lösung gern zur
Verfügung.
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anfordern.
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