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Berührungslose
Schichtdickenmessung
Die berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme
für transparente Schichten sind effizient und einfach
zu bedienen. Die Messsysteme arbeiten auf dem Prinzip der Reflektionsspektroskopie.
Mit Hilfe komplexer Algorithmen werden die Spektren einzelne
Schichten und die von ganzen Schichtsysteme analysiert. Zur
Analyse der Spektren und Bestimmung der Schichtdicke, wie auch
der optischen Konstanten, n und k, bieten diese berührungslosen
Schichtdicken-Messsysteme umfangreiche Algorithmen mit unterschiedlichen
Materialdaten, die jederzeit ergänzt werden können.
Die berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme sind für
Messungen extrem dünner Schichten von wenigen Angström
bis hin zu dicken Schichten von fast 500µm verfügbar. Über
den Probentisch lassen sich mit Hilfe von Polarkoordinaten
alle Positionen auf der Probe messen. Außer den Standard-Messplänen
aus dem Lieferumfang des Systems sind eigene Messpläne
mit beliebig vielen Messorten einfach zu erstellen.
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Die berührungslosen
Schichtdicken-Messsysteme sind für Wafer mit Durchmessern
von 100mm bis zu 300mm lieferbar. Die Messgeschwindigkeit
ist bei diesen System außerordenlich hoch, so dass
ein vollständiges Wafermap mit 56 Punkten nur ca.
29 Sekunden beansprucht ( 200mm Wafer ). Die graphische
Darstellung der Messergebnisse zeigt sofort und übersichtlich
die Verteilung der Schichtdicke über den ganzen Wafer.
Mit einem Messfleck von nur 200µm sind Messungen innerhalb
kleiner Strukturen möglich.
Mehr Informationen
anfordern.
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