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PV-R
Das berührungslose Widerstandsmesssystem,
Modellreihe PV-R, wurde zur In-Line-Messung an Substraten für
Solarzellen bei der Fertigung der Substrate, wie auch nach
der Diffusion entwickelt. In einem Durchlaufprinzip werden
die Wafer an mehreren Stellen gleichzeitig vermessen. Nach
der Auswertung ergibt sich damit die Verteilung der Widerstandswerte über
die Fläche der Substrate. Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme
PV-R verfügen über eine außerordentlich hohe
Messrate. Sie bieten damit eine ausgezeichnete Information über
die Widerstandsverteilung ohne den Durchsatz der Fertigungslinie
zu beeinflussen.
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Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme,
der Modellreihe PV-R, sind in Ausführungen mit integrierter
Dickenmessung der Substrate verfügbar. Die Messergebisse
werden in dieser Ausführung nicht nur direkt als spezifischer
Widerstand erfasst, vielmehr verfügen diese System über
eine automatische Korrektur der Messergebnisse auf die
Waferdicke am jeweiligen Messort. Als Ausführung ohne
die bührungslose Widerstandsmessung ist dieses System
zur Erfassung der Dickenverteilung der Substrate einsetzbar.
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