Berührungslose
Widerstandsmessung
Diese Produktgruppe umfasst eine Reihe
verschiedener, berührungslos arbeitender Widerstandsmesssysteme für
Anwendungen in der Halbleiterfertigung auf Siliziumbasis, wie
auch der Verbundhalbleitertechnologie und Anwendungen für
die Solarzellenfertigung und Fertigungslinien für Flachbildschirme.
Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme arbeiten alle
mit dem Wirbelstrom-Prinzip, bei dem das Messobjekt in das
Magnetfeld der Spule eines Hochfrequenzschaltkreises gebracht
wird. Das Konzept und der Aufbau dieser Systeme sind maßgeblich
für die ausgezeichnete Präzision der Messung verantwortlich.
Ausführungsvarianten der
berührungslosen Widerstandsmessung
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M-RES 2000 Wafer-Messsysteme
in verschiedenen Ausführungen und Wafermapping-Funktion
- PV-R / PV-RT Inline
Solarzellen- und Solarwafer-Metrologie
- LCD-R Inline
Metrologie für großflächige Dünnschichtprozesse
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