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CD
und Overlay Messung
MicroLine ist die Bezeichnung für
eine ganze Produktgruppe optischer CD- und Overlay-Messsysteme.
Als Basis für die Erfassung der Bilddaten dient bei einem
manuellen System ein herkömmliches Mikroskop, bei dem
der Kreuztisch-Fokus und die Beleuchtung über das CD-
und Overlay-Messsystem kontrolliert werden. Bei der semi-automatischen
und der voll automatischen Ausführung dieser Systeme dient
eine massive Granitbasis mit integrierter Schwingungsdämpfung
als Grundlage für den Präzisions-Kreuztisch und die
Brücke für die optischen Komponenten des Systems.
Die Ursprünge der komplexen Analyse von Graustufen und
Kontrast gehen weit über 20 Jahre zurück. Auf dieser
Erfahrung steht heute ein modernes CD- und Overlay-Messsystem
zur Verfügung, bei dem eine Fülle von justierbaren
Parametern die zuverlässige Messung von Strukturen jeglicher
Form erlaubt.
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Zusammen mit den erprobten
Positioniereinrichtungen entsteht ein leistungsfähiges
CD- und Overlay-messsystem mit hohem Durchsatz für
alle Aufgaben in der Produktion und in der Entwicklung.
Auf unterschiedlichen Ebenen lassen sich komplexe Messaufgaben
lösen, die für die automatische Produktion in
Rezepten aufgehen, die vom Bediener anhand ihrer Bezeichnung
oder auch ferngesteuert aufgrund der Kennung auf dem Wafer
oder des Loses aufgerufen werden.
Auf der gleichen Grundlage sind auch CD- und Overlay-Messsysteme
für großflächige Substrate mit Abmessungen
bis zu 1000mm x 1000mm lieferbar, bei denen eine Positioniergeschwindigkeit
von 800mm/s erreicht wird. Für Substrate bis zu Abmessungen
von über 1.500mm stehen diese geneigt auf einem stabilen
Rahmen und die Optik wird an die jeweiligen Messorte positioniert.
Optische Messsysteme für die präzise 3-D-Messung
von Bauteilen, die Vermessung an Magnetköpfen und
Tintenstrahldüsen sowie die Kontrolle bei der Verarbeitung
von Lichtwellenleitern sind weitere Produkte die weltweit
ein hohes Ansehen wegen ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit
besitzen.
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