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LCD-R
Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme
der Modellreihe LCD-R wurden speziell für großflächige
Substrate konzipiert, wie sie bei der Herstellung von Flachbildschirmen
benötigt werden. Als In-Line-Systeme werden die LCD-R
berührungslosen Widerstandsmesssysteme in das Conveyor-System
der Fertigungslinie integriert und messen dort berührungslos
den Widerstand der Beschichtung während das Substrat vom
Conveyor-System transportiert wird. Mit bis zu 10 Messspuren
wird auch bei den Fertigungslinien der nächsten Produktionsgeneration
eine hervorragende Ortsauflösung erzielt.
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Je
nach Anforderungsprofil der Fertigungslinie sind die berührungslosen
Widerstandsmesssysteme der Modellreihe, LCD-R, mit einem
Messbereich von drei (3) Dekaden und mehr lieferbar. Es
stehen Messsysteme mit einem Messbereich über 1.000
Ohm/sq zur Verfügung. Das Systemkonzept erlaubt zudem
den Einsatz von Messsystemen unterschiedlicher Messbereiche
in eine Fertigungslinie. Mit der Systemsoftware werden
Messrezepte generiert, bei denen u.a. das jeweilige Messsystem
selektiert wird.
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